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堆栈式收放板机(自动隔纸功能)
产品特色:
1. 实现一片基板一片隔纸堆栈功能, 省去人工操作繁琐.
2. 道数可客制化, 现有实绩4-6 道
3. 可串接于水平制程在线
4. Low CoO.
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